Aparato de medición de tensión Octiv Suite 2.0 VI Probe

de corriente alternade impedanciaRF

El diagnóstico de RF Octiv Suite (VI Probe) es un sistema de diagnóstico de tensión, corriente, fase, armónicos y plasma en línea. Puede medir todos los parámetros de potencia de RF, descomponerlos en sus componentes individuales y reconstruir la forma de onda de múltiples frecuencias fundamentales simultáneamente. Este sistema de vanguardia también puede medir parámetros de plasma como el flujo iónico utilizando el electrodo de RF como sensor. El Octiv Suite es realmente único en su clase cuando se trata de la entrega de potencia a un reactor de plasma. El Octiv Suite mide voltaje, corriente, fase, impedancia y armónicos y las mediciones se pueden ver desde un PC o directamente en la unidad de medición. El sistema de diagnóstico de RF (VI Probe) Octiv Suite permite a los usuarios medir un número de frecuencias fundamentales y extraer toda la información armónica de cada parámetro medido simultáneamente mientras se reconstruyen múltiples formas de onda Octiv Suite es una tecnología única de vanguardia que permite a los científicos evaluar complejas interdependencias de parámetros de RF en áreas como el rendimiento del proceso de plasma. Octiv Suite mide y muestra la forma de onda compleja. El software extrae y analiza los parámetros clave de RF como la tensión, la corriente y la fase de todos los componentes complejos que componen la forma de onda. El diagnóstico de RF Octiv Suite (VI Probe) se puede utilizar para diagnosticar parámetros del plasma como el flujo iónico, la resistencia del plasma y la impedancia no lineal de la vaina. El Octiv Suite caracterizará una carga no lineal con múltiples frecuencias fundamentales, componentes de alta armónica e intermodulación.