Elipsómetro espectroscópico VUV-VASE series
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Características
- Especificaciones
- espectroscópico
Descripción
El elipsómetro espectroscópico de ángulo variable VUV-VASE® es el estándar de oro para la caracterización óptica de películas delgadas de litografía. Mide longitudes de onda desde el ultravioleta de vacío (VUV) hasta el infrarrojo cercano (NIR). Esto proporciona una increíble versatilidad para caracterizar numerosos materiales: semiconductores, dieléctricos, polímeros, metales, multicapas y líquidos como los de inmersión.
Amplia gama espectral
El VUV-VASE cubre longitudes de onda desde menos de 140 nm hasta 1700 nm.
Alta precisión
Utilizando nuestro AutoRetarder® patentado, el VUV-VASE garantiza la precisión de cualquier medición de muestras.
Carga cómoda de la muestra
Su diseño especial permite una carga rápida y eficiente de la muestra sin que se produzca una purga contaminante del sistema.
Proteja sus muestras
El monocromador se coloca antes de la muestra para limitar la exposición de los materiales fotosensibles.
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