Fuente de haz de electrones BS-60070DEBS

Fuentes de haz de electrones / fuentes de alimentación para deposición por haz de electrones utilizadas para crear diversos tipos de películas, incluidas películas ópticas y revestimientos de electrodos. Características Características del método de deposición por haz de electrones La eficiencia térmica es bastante buena debido al calentamiento por irradiación directa del haz de electrones sobre el material de deposición. Es posible vaporizar una gran variedad de materiales, incluidos metales de alto punto de fusión, óxidos, compuestos y materiales de sublimación. Dado que el material de deposición se calienta directamente en el crisol refrigerado por agua(*), no se produce la reacción de la barca o del crisol que se produce con los métodos de calentamiento por resistencia o calentamiento inductivo. En algunos casos se utiliza un revestimiento de hogar Al disponer de control de salida de alta velocidad, es posible controlar con precisión el espesor de la película. En comparación con los métodos de sputtering y CVD, la velocidad de creación de la película es una característica principal. Esto también es útil para crear revestimientos gruesos de 1µm o más. Características de las fuentes de haz de electrones JEOL [Óxidos] Presenta un ángulo de incidencia del haz perpendicular al material de deposición, y un punto de haz de alta densidad de energía que es casi un círculo perfecto. Dado que la función de barrido de alta velocidad es estándar, es adecuada para la deposición sobre materiales de sublimación y óxidos con baja conductividad térmica y alto punto de fusión. Puede obtener excelentes restos fundidos, lo que permite distribuciones de espesor de película uniformes y reproducibles en una amplia zona. [Metales] Se puede elegir entre una amplia gama de crisoles, lo que permite una deposición de varios tipos, de gran volumen y de alta velocidad. También se dispone de un cañón de electrones compatible con el proceso de despegue para limitar el aumento de temperatura durante la creación de la película.