Perfilómetro óptico Zeta™-20

3Dcon interferometría de luz blancapara semiconductor

El perfilómetro óptico de sobremesa Zeta-20 es un sistema de medición topográfica de superficies 3D sin contacto. El sistema cuenta con la tecnología patentada ZDot™ y óptica multimodo, lo que permite la medición de una gran variedad de muestras: transparentes y opacas, de baja a alta reflectancia, de textura suave a rugosa, y alturas de paso de nanómetros a milímetros. Zeta-20 integra seis tecnologías de metrología óptica diferentes en un sistema configurable y fácil de usar. El modo de medición ZDot™ recoge simultáneamente una exploración 3D de alta resolución y una imagen de enfoque infinito True Color. Otras técnicas de medición 3D incluyen interferometría de luz blanca, microscopía de contraste de interferencia Nomarski e interferometría de cizallamiento. El espesor de la película puede medirse con ZDot o con un reflectómetro de banda ancha integrado. Zeta-20 es también un microscopio de gama alta que puede utilizarse para la revisión de muestras o la inspección automatizada de defectos. El Zeta-20 es compatible tanto con entornos de I+D como de producción, ya que proporciona mediciones completas de altura de paso, rugosidad y espesor de película, así como capacidad de inspección de defectos. Características Perfilómetro óptico fácil de usar con óptica ZDot y multimodo para abordar una amplia gama de aplicaciones Aplicaciones Altura de paso: altura de paso 3D de nanómetros a milímetros Textura: rugosidad y ondulación 3D en superficies lisas a muy rugosas Forma: arco y forma 3D Tensión: tensión de película fina 2D Espesor de película: espesor de película transparente de 30nm a 100µm Inspección de defectos: captura de defectos superiores a 1µm Revisión de defectos: Los archivos KLARF se utilizan para navegar hasta los defectos para medir la topografía de la superficie en 3D o trazar las ubicaciones de los defectos