El sistema de adquisición de datos Thermal TRACK™ 5 admite mediciones de temperatura de obleas in situ a partir de los productos de obleas instrumentados SensArray® Process Probe™ con cable. El sistema Thermal TRACK 5 combina la unidad de adquisición de datos inalámbrica ISIS 5 (Intelligent Sensor Interface System) con un asistente digital personal portátil para la visualización en tiempo real y el registro de datos para la caracterización de perfiles de temperatura. Al proporcionar representaciones gráficas informativas de la temperatura de la oblea durante el arranque, el estado estacionario y el enfriamiento, Thermal TRACK 5 proporciona un método rápido y rentable para gestionar la mayoría de los procesos. Este sistema portátil proporciona una gran exactitud, precisión y resolución tanto en las mediciones transitorias como en las estacionarias, proporcionando datos críticos para que los ingenieros de la fábrica calibren y comprueben los puntos de ajuste de temperatura y realicen comprobaciones de mantenimiento preventivo predefinidas.
Aplicaciones
Supervisión de herramientas de proceso
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