Sistema de medición por láser ATL™

en tiempo real

Sistemas de metrología por recubrimiento El sistema de metrología de superposición basado en dispersometría ATL100™ (Accurate Tunable Laser) proporciona control de superposición para desarrollo y fabricación de gran volumen en nodos de diseño de ≤7nm. La tecnología láser sintonizable con resolución de 1 nm emparejada con Homing™ en tiempo real mantiene una alta precisión de superposición en presencia de variaciones en el proceso de producción. El ATL100 es compatible con una amplia gama de diseños de objetivos de medición de superposición por dispersometría, incluidos los in-die y small pitch, lo que permite una medición precisa del error de superposición para diferentes capas de proceso, tipos de dispositivos, nodos de diseño y tecnologías de patrón. Aplicaciones Control de superposición en el producto, Supervisión en línea, Cualificación de escáneres, Control de patrones, Mediciones en la matriz Productos relacionados Archer: sistemas de metrología de superposición basados en imágenes que proporcionan mediciones de superposición de alta precisión para el desarrollo y la fabricación de grandes volúmenes en los nodos de diseño ≤1Xnm.