Sistema de supervisión de temperatura Process Probe™ 1530/1535

de mediciónen tiempo real

Sistema de control in situ de la temperatura de las obleas Las obleas instrumentadas Process Probe™ 1530 y 1535 se utilizan para monitorizar in situ las temperaturas de una amplia gama de procesos, incluyendo pared fría, RTP, sputtering, CVD, despojadores de plasma y reactores epitaxiales. Las sondas de proceso 1530 y 1535 proporcionan una medición directa y en tiempo real de la temperatura de las obleas durante cada paso crítico del ciclo del proceso. Con estos completos datos de temperatura, los ingenieros de proceso pueden caracterizar y ajustar las condiciones del proceso, lo que mejora el rendimiento del equipo de proceso, la calidad de las obleas y el rendimiento. Aplicaciones Desarrollo de procesos, Cualificación de procesos, Cualificación de herramientas de proceso, Adaptación de herramientas de proceso Cámaras de proceso de película fina de pared fría (1530), Cámaras de proceso de película fina de pared caliente (1535) | 0-1100°C