para las condiciones del alto vacío hasta 10^ (- 6) mbar
viaje de 3,5 milímetros en la dirección de x y de y
huella de 15 x 15 milímetros
Etapas miniatura ultra pequeñas de la traducción con la impulsión de inercia ecléctica piezoeléctrica. Edición del vacío de MS15.
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