Platina de posicionamiento XY MS15de traslaciónpiezoeléctrica2 ejes
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Características
- Orientación
- XY, de traslación
- Tipo
- piezoeléctrico
- Número de ejes
- 2 ejes
- Otras características
- compatible de vacío, en miniatura
- Carrera
3 mm
(0,118 in)- Velocidad
1,5 mm/s
- Carga
6 g
(0,21 oz)
Descripción
para condiciones de alto vacío de hasta 10^(-6) mbar
huella de 15 x 15 mm
Etapas de traslación en miniatura ultrapequeñas con accionamiento piezoeléctrico inercial. Edición para vacío de MS15.
Datos técnicos
Anchura - 15 mm
Altura - 7 mm
Profundidad - 15 mm
Carga máx. Carga (2 ejes)
Mx, My, Mz (impulso) - 4 Ncm
Fuerzas de bloqueo (Fx, Fy) - 3 N
Fuerza de apoyo (Fz) - 20 N
Precisión de guiado
Ángulo de guiñada - 20 segundos de arco
Ángulo de cabeceo - 60 segundos de arco
Desviación vertical - 1 um
Desviación lateral - 2 um
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