para bucle cerrado (hasta 50 nm de resolución)
para el sistema NOVA
Etapas de traslación en miniatura con accionamiento piezoeléctrico inercial para el sistema NOVA. Edición estándar
Datos técnicos
Anchura - 70 mm
Altura - 20 mm
Profundidad - 70 mm
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Momentum (My) - 5 Ncm
Momento (Mz) - 5 Ncm
Fuerza de bloqueo (Fx) - 9 N
Fuerza de apoyo (Fy, Fz) - 30 N
Precisión de guiado
Ángulo de guiñada - 20 segundos de arco
Ángulo de cabeceo - 60 segundos de arco
Desviación vertical - 1 um
Desviación lateral - 2 um
Información de medición
Marca de referencia - centro
Resolución - 1um a 50 nm
Tensión de alimentación - 5 V
Consumo de energía - 150 mA
---