Software de calibración Calibre® MPCpro

de desarollode diseñode modelización

La familia Calibre Mask Process Correction de productos basados en reglas y modelos se utiliza en la fabricación avanzada de fotomáscaras para corregir los errores sistemáticos de la litografía de la máscara y las fuentes de error del proceso, con el fin de garantizar que la firma de la dimensión crítica de la máscara esté dentro de las especificaciones. Validación de la corrección del proceso de máscara para la litografía de máscaras multihaz En este artículo, presentamos un ciclo completo de calibración y verificación de MPC, utilizando procesos de máscara existentes y probados en combinación con un novedoso sistema MBMW. Productos de corrección de procesos de máscara Calibre Los productos Calibre Mask Process Correction basados en reglas y modelos proporcionan la mejor escalabilidad y precisión de su clase para corregir fuentes de error desde el rango nanométrico hasta el centimétrico para la dispersión de electrones y los efectos de carga del proceso. Las avanzadas herramientas de modelado permiten calibrar el modelo con una precisión de <1 nm.