Interferómetro de luz blanca interferoMETER

para aplicaciones OEMpara la medición subnanométrica del desplazamientopara la medición subpicométrica del desplazamiento

Los interferómetros de luz blanca de Micro-Epsilon están optimizados para fines industriales y ofrecen una precisión que crea un nivel sin precedentes en las mediciones ópticas de distancia y espesor. La cartera comprende tres versiones diferentes de interferómetros destinados a diferentes campos de aplicación. Estos sistemas logran resultados de medición estables con resoluciones en el rango de los subnanómetros. - Con una resolución de < 30 picómetros, los innovadores interferoMETROS de Micro-Epsilon alcanzan un nuevo nivel de precisión en la tecnología de medición óptica. Dependiendo de la aplicación, hay tres versiones diferentes disponibles. El IMS5400-DS para mediciones de alta precisión y distancia industrial; el IMS5400-TH para mediciones precisas de espesor; y el IMS5600-DS con un diseño adecuado al vacío para mediciones de distancia de precisión subnanométrica. El IMS5400-TH de alta precisión se utiliza para la medición del espesor de materiales delgados y transparentes. La medición se realiza con un solo sensor, independientemente de la distancia del objeto de medición, que tolera el aleteo o el movimiento de los objetos de medición. La fuente de luz infrarroja cercana también permite mediciones de espesor de vidrio con revestimiento antirreflectante. El IMS5400-DS se utiliza para mediciones industriales de distancia. El sistema de medición proporciona valores de medición absolutos y detecta, por ejemplo, pasos y bordes de forma fiable sin pérdida de señal El IMS5600-DS está diseñado para mediciones de distancia en salas limpias y ambientes de vacío (hasta UHV). La calibración especial del controlador permite una resolución subnanométrica, que se requiere, por ejemplo, para alinear un sensor o posicionar una etapa.