Generador de ozono de alta concentración SEMOZON® AX8410 PRIMEde laboratoriocompacto
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Características
- Características del gas
- de alta concentración
- Ámbito
- de laboratorio
- Configuración
- compacto
Descripción
El SEMOZON® AX8410 PRIME es el producto inicial que ofrece en la plataforma de nueva generación de MKS de generadores de ozono compactos, de alta concentración, de alto flujo y ultra limpios. Cuenta con una célula de nuevo diseño y una estructura de potencia que duplica la producción de ozono de los modelos anteriores con una huella similar.
El SEMOZON® AX8410 PRIME convierte el oxígeno en ozono a través de una descarga eléctrica silenciosa. Su novedoso diseño de celda patentado soporta nuevos requerimientos de proceso que requieren concentraciones de ozono más altas a tasas de flujo de hasta 80 slm. El aumento del caudal y la mayor concentración hacen que el generador AX8410 PRIME cumpla con los requisitos de ozono para la próxima generación de procesos de semiconductores.
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