Espectrómetro de masa RGAde procesoPMT
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Características
- Tipo
- de masa
- Sector
- de proceso
- Tipo de detector
- PMT
Descripción
La serie de RGA, fabricada por los instrumentos de MKS, es un tipo de espectrómetro total de proceso. El dispositivo es un instrumento innovador de la supervisión de proceso. Se combinan con los paquetes de uso tales como analizadores residuales del gas, RGA, dispositivos analíticos y software de control.
La supervisión del vacío consiste en vacío ultra alto, procesos del CVD, la línea de fondo RGA del vacío, el etc.
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Catálogos
Residual Gas Analysis
6 Páginas
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