Caudalímetro másico térmico M330B series

para gasen líneapara bajo caudal

La gota de presión baja, análogo, Metal-selló la foto del regulador del flujo total - la gota de presión baja de M330 B, análogo, regulador Metal-sellado del flujo total el regulador termal del flujo total de la gota de presión baja de los instrumentos M330B de MKS es un metal el regulador sellado que del flujo total diseñó específicamente para los usos donde está crítica la gota de presión baja a través del regulador. Un uso es entrega controlada de los gases seguros de Source® de la entrega (SDS®) en los usos del implante del ion para maximizar la utilización del gas del SDS. La gota de presión baja de M330 B que el regulador termal del flujo total viene en la huella estándar del MFC de tres pulgadas con electropolished los sellos del final y del metal de la superficie del Ra de 5 micropulgadas que aseguraban limpieza del producto. La exactitud del dispositivo es el 1% de a gama completa sobre la gama dinámica del control. Para establecer la configuración para satisfacer su uso específico, consulte el servicio de cliente.