Sistema de supervisión de concentración Q-MACS MCde procesode mediciónóptico
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Características
- Tipo
- de concentración
- Aplicaciones
- de medición, de proceso
- Tecnología
- de infrarrojos, óptico
- Configuración
- portátil
- Otras características
- en línea
Descripción
El Q-MACS Process MC es un sistema de monitorización portátil para la medición en línea in situ de procesos industriales como los procesos de grabado, deposición y nitruración por plasma. Se basa en la probada tecnología Q-MACS Basic. Este sistema de medición in situ utiliza la espectroscopia de absorción de infrarrojos para medir las concentraciones moleculares absolutas dentro de la cámara de proceso. La conexión óptica al reactor de proceso se realiza mediante bridas de vacío estándar.
Sistema con camino óptico cerrado
Equipado con 1 a 4 láseres
Sensibilidad de hasta ppb
Resolución temporal hasta milisegundos
El Q-MACS Process MC incluye todo el equipo y el software necesarios para el funcionamiento del sistema.
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Catálogos
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Q-MACS Process
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