Junta tórica

de PTFEde sección rectangularde vacío

Evolve™, una junta de PTFE-FFKM patentada por Parker, destaca en el uso de semiconductores, ofreciendo una resistencia al plasma inigualable y una limpieza superior con su barrera de plasma de PTFE integrada. Ideal para aplicaciones de alta tecnología. La tecnología de estanquidad Evolve™ patentada por Parker proporciona a los usuarios una resistencia al plasma sin igual y una limpieza de estanquidad fenomenal para aplicaciones de estanquidad estáticas y casi dinámicas en lugar de las juntas tóricas estándar. Mediante el uso de un escudo de PTFE diseñado como barrera contra el plasma, la junta de vacío de PTFE-FFKM compuesto ofrece un rendimiento revolucionario en equipos de fabricación de semiconductores al ampliar el tiempo de actividad de la junta de 2X a 10X con una reducción drástica de las fugas y la contaminación de la junta debido al ataque del plasma. Esto representa un avance significativo con respecto a las soluciones tradicionales de sellado de juntas tóricas. A diferencia de los sellos convencionales, el sello Evolve está diseñado para evitar el tiempo de inactividad inesperado de la herramienta causado por el fallo del sello, lo que permite a las fábricas programar estratégicamente el mantenimiento preventivo basado en el desgaste mecánico en lugar del deterioro impredecible del sello. Además de las propiedades superiores de sus materiales, la junta Evolve se ha diseñado pensando en el usuario. Presenta nervaduras o protuberancias integradas para facilitar una instalación sencilla y directa en los diseños de ranuras de juntas existentes, como cola de milano, media cola de milano y ranuras rectangulares. Además, puede diseñarse para configuraciones de ranura personalizadas según los requisitos del cliente, para cualquier número de aplicaciones estáticas y cuasiestáticas típicas, entre las que se incluyen: -Juntas de tapas de cámaras -Válvulas de escape -Sello de válvula ISO -Junta de pedestal de oblea -Junta de la puerta de la válvula de escape -Junta de la puerta de acceso -Juntas de entrada/salida de gas -Juntas de anillo y boquilla de gas -Juntas de ventanas -Juntas de racores