Regulador de presión de gas SMSQ2Micro series

de diafragmamonoetapade latón

Las series SMSQ2Micro y SMSQ2Micro130E son los reguladores de presión UHP en miniatura más avanzados del mercado. Estas series ofrecen un control de presión extremadamente preciso y fiable que mejora el rendimiento de los controladores de caudal másico (MFC), algo fundamental para la repetibilidad y el rendimiento de la producción de semiconductores. Además, ofrecen una estanqueidad superior y una baja generación de partículas, ambas características esenciales para las aplicaciones de semiconductores. Los reguladores son aptos para su uso tanto con gases inertes como corrosivos, y ofrecen una respuesta extraordinaria ante cambios bruscos en la demanda de caudal. La serie utiliza un diseño exclusivo de diafragma atado y autocentrante que garantiza un sellado fiable del asiento y una regulación precisa de la presión. La generación y el atrapamiento de partículas se minimizan al eliminar el resorte del obturador y las roscas de retención del asiento, lo que mejora aún más la limpieza del proceso y el rendimiento de la purga. Los componentes en contacto con el fluido de la serie SMSQ2Micro están fabricados con metales especiales para proporcionar una resistencia excepcional a la corrosión, estanqueidad y una vida útil máxima a una presión de entrada de hasta 250 psig. El cuerpo está electropulido internamente y fabricado con el acero inoxidable Vericlean™ 316L, exclusivo de Parker Veriflo, que supera los requisitos de material de la norma SEMI F20; cada diafragma y cada obturador están fabricados en Hastelloy C-22®, y cada asiento está disponible en PCTFE o Vespel®. Tanto el SMSQ2Micro como el SMSQ2Micro130E presentan un tamaño reducido para montaje en superficie, conforme a las especificaciones de interfaz modular SEMI, y están disponibles en configuraciones con junta en C y con junta en W.