- Plataforma de movimiento de 365 mm de diámetro, apertura de 260 mm de diámetro
- Excentricidad y planitud < 300 nm
Resumen del producto
Las etapas de rotación de accionamiento directo de la serie PIglide RLA están diseñadas para una precisión ultraelevada. Tienen un perfil bajo y una gran apertura libre. Las platinas RLA ofrecen una precisión de recorrido, planitud y bamboleo superiores.
motor de par trifásico
Sin escobillas
Bajo par de arrastre
Codificador absoluto (opcional)
Los encóderes absolutos suministran información de posición explícita que permite la determinación inmediata de la posición. Por lo tanto, no es necesaria la referenciación al conectar, lo que aumenta la eficacia y la seguridad durante el funcionamiento.
Accesorios y opciones
Encoder incremental o absoluto
Filtro PIglide y kits de preparación de aire
Controladores de movimiento y servoaccionamientos de uno o varios ejes
Configuraciones multieje/personalizadas
Placas base de granito y sistemas para reducir las vibraciones
Campos de aplicación
Tomografía, sistemas beamline, metrología de obleas, inspección de obleas, tecnología de medición, sistemas de inspección, calibración, escaneado.
Gracias al movimiento sin fricción, no se forman partículas, lo que hace que las plataformas PIglide sean ideales para aplicaciones de sala limpia.
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