Generador de corriente Bias

de tensiónRF

Generador de forma de onda de polarización a medida para sistemas de plasma de RF Prodrive Technologies presenta su disruptivo generador de forma de onda de polarización a medida para proporcionar un control directo de la distribución de energía de los iones de la vaina en el procesamiento del plasma. La salida de la forma de onda adaptada ofrece un control independiente de la corriente y la tensión y se mide en tiempo real. Este control directo de la energía de los iones de la vaina mejora en gran medida el control y la precisión de los procesos de grabado y deposición en comparación con la polarización de RF convencional, permitiendo la personalización de la distribución de la energía de los iones para permitir distribuciones muy estrechas y la eliminación de la cola. Esto da lugar a la optimización de la velocidad del proceso y a la máxima selectividad para las características sensibles. También reduce el consumo de energía de la polarización, aumentando la eficiencia del sistema con respecto a las tecnologías convencionales. -Distribución de energía iónica estrecha con eliminación de colas -Máximo control de las condiciones de polarización con supervisión de la forma de onda en tiempo real -Rápida integración con los sistemas de RF convencionales -Autotuning propio de la forma de onda Vídeo de polarización del generador de plasma Este vídeo muestra de forma esquemática cómo funciona la polarización de la forma de onda a medida.