Proceso :
● Aplicable a obleas de tamaño 156/230
● Compatible con diferentes tamaños de equipos de PECVD de tubo y equipos de PECVD de placa
Características :
● Carga y descarga : Casete o pila
● Carga y descarga: Cassette o Stack
● Salida: bote de grafito
● Monitorización de la temperatura del bote
● Detección opcional de diferencia de color/espesor de película en línea, detección de PL, detección de residuos,
● Detección de película alabeada, flip
● Soporte opcional interfaz MES y función de depuración remota
● Máquina inteligente, estadísticas OEE y función de análisis de consumo de energía
● Detección de temperatura de la embarcación estándar, barco de tiro vertical, ventosa de cerámica,
● vacío de un solo canal
● Interfaz inteligente IGV opcional
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