Sistema de automatización de producción PECVD
de procesos

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Características

Especificaciones
de producción, de procesos

Descripción

Proceso : ● Aplicable a obleas de tamaño 156/230 ● Compatible con diferentes tamaños de equipos de PECVD de tubo y equipos de PECVD de placa Características : ● Carga y descarga : Casete o pila ● Carga y descarga: Cassette o Stack ● Salida: bote de grafito ● Monitorización de la temperatura del bote ● Detección opcional de diferencia de color/espesor de película en línea, detección de PL, detección de residuos, ● Detección de película alabeada, flip ● Soporte opcional interfaz MES y función de depuración remota ● Máquina inteligente, estadísticas OEE y función de análisis de consumo de energía ● Detección de temperatura de la embarcación estándar, barco de tiro vertical, ventosa de cerámica, ● vacío de un solo canal ● Interfaz inteligente IGV opcional

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