El equipo se utiliza principalmente para dopar y formar uniones Pn en obleas de silicio en el proceso de fabricación de células solares de silicio cristalino.
Preparar el bote de cuarzo y las obleas→ Insertar las obleas→ Cargar las obleas→ Elegir la receta → Cargar el bote→ Aspirar el tubo→ Aumentar la temperatura→ Entrada de oxígeno→ Entrada de BBr3/BCL3→ Empujar→ Tratamiento de DOA→ Descarga del bote→ Enfriamiento→ Pruebas→ Descarga de la oblea
- Difusión de boro a alta temperatura.
- BBr3、BCL3.
- Tecnología patentada.
- Estructura única de la puerta del horno de doble capa anidada.
- Tecnología patentada para el sistema de tratamiento de los gases de escape.
- Mecanismo de empuje del bote del módulo integral de alta velocidad.
- Control automático inteligente.
- Software MES con derecho de propiedad intelectual independiente.
- Amplias funciones de protección de alarmas de seguridad, como prevención de sobretemperatura, rotura de termopar y colisión de barcos.
- Compatible con la solución de fábrica inteligente S.C.
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