Fuente de haz de electrones para microscopio electrónico de barrido SEM 20

La fuente del electrón para SEM y el taladro experimenta con el tamaño mejor de 20 nanómetro del punto en 25 la corriente de la viga del nA de la viga voltage/0.5 del kilovoltio, en distancia de trabajo de 25 milímetros. fuente termal del electrón de la emisión del campo de 1 - 25 keV (emisor) de Schottky, nA actual >100 de la viga máxima. Columna que se enfoca electrostática con el sistema doble de la lente, los quadrupoles de la alineación de la viga, las placas que esconden de la viga, y el octopole para la desviación y el stigmation. La corriente de la viga es continuamente ajustable por una abertura de la variable del electrón-óptico. La facilidad actual de la medida de la viga interna escondiendo sobre una abertura de la taza de Faraday conectó con un feedthrough de B. Válvula de aislamiento neumáticamente funcionada de la columna. Vacío requerido <1 x 10-8 del área de la fuente mbar. CF portuarios de bombeo del nanovatio 35 (2 ?OD) en el lado del compartimiento de la fuente. Bakeable a 180 CF del nanovatio 63 del reborde de montaje de la C. (4? OD).