·Cámara combinada de evaporación y pulverización catódica;
·Cámara de evaporación: evaporación por un solo lado para el recubrimiento de materiales de evaporación a baja temperatura (Al, Li, etc.);
·Cámara de pulverización catódica: 6 pares de blancos giratorios, sustituibles por blancos planos;
·Cámara de posprocesamiento: disponible para calentamiento, enfriamiento, tratamiento con gas y procesamiento por plasma, etc.
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