·Diseño de una sola cámara con un tamaño compacto y un tiempo de funcionamiento reducido.
·Apto para la deposición de películas compuestas multicapa con diferentes precursores y materiales, con una amplia escalabilidad del proceso.
·El control preciso del espesor y la uniformidad de la película garantiza una estructura densa con un alto grado de conformidad, baja densidad de defectos y excelentes propiedades.
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