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Máquina de deposición por pulverización catódica con magnetrón SAF25/50

máquina de deposición por pulverización catódica con magnetrón
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Características

Tecnología
por pulverización catódica con magnetrón

Descripción

Herramientas multifuncionales de agrupación de I+D SAF Aplicación El instrumento multifuncional de agrupación de I+D SAF25/50 está destinado a trabajos de investigación y desarrollo, así como a estudios de viabilidad y trabajos académicos más generales en el ámbito de las tecnologías de película delgada. Ingeniería y Tecnología La herramienta es un sistema multifuncional, expandible, modular y flexible. La herramienta comprende una cámara de entrada/salida con pistola de iones, una cámara central de transferencia de sustratos con un brazo telescópico de transporte radial y hasta 7 cámaras de deposición. El sustrato se coloca horizontalmente en un soporte. Las zonas de deposición están configuradas para la rotación o el desplazamiento del sustrato durante la deposición hacia arriba La multifuncionalidad y la flexibilidad de la herramienta se basa en las siguientes características clave: - Cada cámara puede funcionar de forma independiente debido a los medios de bombeo, controles y conexiones de servicios públicos individuales. - Las cámaras de depósito y las fuentes de depósito son intercambiables. - La cámara de transferencia central evita la contaminación cruzada de los procesos y asegura la transferencia de los sustratos sin necesidad de ventilar las cámaras. - Se pueden integrar varios tipos de fuentes de deposición, como células térmicas de sublimación, botes resistivos, crisoles y magnetrones de chisporroteo. - Los magnetrones de pulverización gemelos, simples y duales pueden ser alimentados por fuentes de alimentación de CC, CC pulsada, MF y RF. - Se ofrece enfriamiento y calentamiento del sustrato con contacto y sin contacto. - Se puede añadir una guantera para cargar el sustrato en una atmósfera de gas inerte y un cargador de sustratos.

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Catálogos

* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.