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Máquina de deposición por pulverización catódica SAF L-EM
de vacío

máquina de deposición por pulverización catódica
máquina de deposición por pulverización catódica
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Características

Tecnología
por pulverización catódica
Otras características
de vacío

Descripción

HERRAMIENTA DE DEPOSICIÓN EN VACÍO DE I + D SAF L-EM 1. APLICACIÓN Y CARACTERÍSTICAS PRINCIPALES 1.1 Aplicación principal La herramienta de deposición al vacío SAF L-EM es un sistema a escala de laboratorio diseñado para produciendo revestimientos metálicos de una sola cara en sustratos planos. El objetivo de la herramienta es producir material recubierto para el producto investigado por el cliente prueba de concepto/tecnología. Las soluciones encontradas pueden ser utilizadas posteriormente para el escalado de la tecnología de productos probados. La herramienta puede utilizarse para depositar varios materiales por evaporación y magnetrón chisporroteo que ofrece la posibilidad de tener varias combinaciones de revestimientos. El diseño de la herramienta permite añadir capacidad de deposición para otros materiales además de mencionado en esta especificación. 1.2 Diseño La herramienta de I+D SAF L-EM es uno de los productos de la línea de productos de la herramienta de clúster SAF de Sidrabe sistemas 1.3 Principales características de la herramienta 1.3.1 La herramienta es una máquina de funcionamiento por lotes con carga del conjunto de sustratos antes comienzo del ciclo y descarga del producto después de que el ciclo haya terminado. 1.3.2 La herramienta está destinada a procesar delgados sustratos de cerámica o vidrio 1.3.3 La herramienta consta de 2 cámaras: la de almacenamiento y la de carga/descarga y una deposición de revestimiento o cámara de proceso. Un manipulador lineal transfiere los cassettes con sustratos entre las cámaras. 1.3.4 La deposición de la capa se lleva a cabo por medio de la evaporación térmica de litio o por medio de la pulverización de magnetrón de los objetivos metálicos. Durante la deposición, la orientación del sustrato es horizontal. Libre de escombros y se asegura un recubrimiento uniforme debido a la deposición ascendente.

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Catálogos

* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.