El interferómetro diferencial SP 5000 DI/F, ultrastable y compacto, está diseñado para aplicaciones en las que es necesario realizar mediciones de longitud altamente estables durante largos periodos de tiempo. El diseño compacto del sensor permite un ajuste y una colocación estables a largo plazo incluso en espacios reducidos, por lo que este sistema de medición de precisión resulta ideal como escala láser para bucles de control cerrados. La aplicación requiere un punto de referencia externo, que suele situarse en el centro del rango de medición para lograr una estabilidad óptima de los valores medidos. El principio básico del interferómetro se basa en la serie SP 5000 DI y, por lo tanto, también alcanza resoluciones de longitud en el rango subnanométrico. Es posible realizar mediciones de varios metros sin dificultad, para lo cual se pueden utilizar los reflectores de la serie SP.
minimización de las influencias ambientales mediante la medición diferencial
diseño del sensor ultrastable térmicamente, sensibilidad a la temperatura < 10 nm/K
se pueden utilizar diversos reflectores ópticos, p. ej., esféricos o de espejo plano
Gran invariancia a la inclinación del reflector de medición
Diseño compacto y robusto
Cabezal del sensor fabricado en acero inoxidable de serie
Distancia del haz: 14 mm
Se ofrecen versiones OEM, software OEM y versión para vacío
Se puede utilizar como sistema de retroalimentación con interfaces opcionales
Amplias opciones de disparo
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