Interferómetro para aplicaciones OEM SP 5000 DI/DS

para la medición del desplazamientopara medir longitudesóptico

Descripción
El SP 5000 DI/DS combina el principio de interferómetro diferencial con un interferómetro multi‑haz para ofrecer medidas simultáneas y muy estables de longitud y ángulo (inclinación). Esta configuración permite detectar desplazamientos extremadamente pequeños y ligeras inclinaciones en áreas amplias, reduciendo la influencia de efectos térmicos y ambientales.

Características clave

• Sistema de medición diferencial desplazamiento‑ángulo por interferometría láser de cuatro haces
• Mediciones diferenciales de longitud y ángulo de cabeceo altamente estables
• Diseñado para integración en mesas XY y espejos planos
• Separación de haces: 15 mm (medición de longitud) y 6 mm (medición de ángulo)
• Sensibilidad térmica extremadamente baja < 20 nm / K
• Versiones OEM y para vacío disponibles bajo petición

Aplicación y uso
El interferómetro está diseñado para su montaje en espejos planos o como sistema de medición integrado; es posible la operación con reflectores. El ajuste se realiza mediante componentes ópticos ultraestables integrados en la trayectoria del haz, garantizando mediciones repetibles y estables a largo plazo.

Ámbitos de aplicación

• Medición simultánea de longitud y ángulo para compensar el error de Abbe en disposiciones de medición de precisión
• Control de posición de mesas X‑Y mediante dos cabezas sensoras para medición coordinada
• Mediciones de longitud y ángulo estables a largo plazo con la máxima resolución

Ideal para

• Monitoreo y calibración a largo plazo
• Integración OEM en sistemas de precisión
• Aplicaciones con requisitos máximos de estabilidad y resolución

Especificaciones técnicas

• Rango de medida (longitud): 0 m hasta ≥ 2 m
• Resolución de longitud: 5 pm
• Incertidumbre de medida de longitud: 0,15 µm/m
• Ángulo máximo de inclinación (con espejo plano): ±430 µrad
• Resolución angular: 0,02 µrad
• Separación de haces: 15 mm (longitud), 6 mm (ángulo)
• Sensibilidad térmica: < 20 nm / K
• Principio de medida: combinación de interferómetro diferencial y interferómetro multi‑haz para medición simultánea de longitud y ángulo
• Versiones: estándar, variantes OEM y versiones para vacío (bajo petición)