Sistema de posicionamiento trípode TRIPOD 52-6DoF

XYal vacío

El TRIPOD 52-6DoF es compatible con el sistema modular CLS-52 y consta de una platina basculante, como su equivalente de mayor tamaño, el TRIPOD 92-6DoF La disposición de las tres torretas permite un movimiento de balanceo y cabeceo de la placa superior en el rango de ±8,5° para Θx, ±9,5° para Θy y una traslación lineal en la dirección Z de 5 mm. La placa superior incluye una ranura de montaje para una etapa de rotación SR-3211 para añadir un cuarto grado de libertad a la configuración. La placa inferior, por el contrario, permite un montaje directo en una protoboard o en una plataforma XY formada por dos traslados lineales CLS-52 DeepL. Esta última posibilidad da lugar a un sistema de posicionamiento 5D o, junto con el SR-3211, a uno 6D. Mecánica Recorrido [mm] - 31 (X); 31 (Y); 5 (Z) Recorrido [ - 17 (Θx); 19 (Θy); ilimitado (Θz) Máx. Fuerza normal [N] - 5 Max. Fuerza horizontal [N] - 2,5 Dimensiones [mm] - 90 x 90 x 80 Altura de la plataforma sobre el suelo [mm] - 80 Peso [g] - ~ 550 Bucle cerrado Tipos de sensores - S Incremento más pequeño [nm] - 1 Incremento más pequeño [µrad] - 1 Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [nm] - < ± 200 Repetibilidad de bucle cerrado, recorrido de 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [µrad] - < ± 15 Opciones Opciones de vacío - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) Opción no magnética - Sí (-NM)