Sistema de posicionamiento trípode TRIPOD 92-6DoF

XYal vacío

El mayor de los dos TRIPOD es compatible con el sistema modular CLS-92. Una etapa de inclinación de la punta es el componente principal de este sistema de posicionamiento. La disposición de las tres torretas permite un movimiento de balanceo y cabeceo de la placa superior en el rango de ±13° para Θx, ±15° para Θy y una traslación lineal en la dirección Z de 10 mm. La placa superior también incluye una ranura para montar una etapa de rotación SR-4011 para añadir un cuarto grado de libertad a la configuración. La placa inferior, por el contrario, permite un montaje directo en una protoboard o en una plataforma XY compuesta por dos traslados lineales CLS-92 DeepL. Esta última posibilidad da lugar a un sistema de posicionamiento 5D o, junto con el SR-4011, a uno 6D. Mecánica Recorrido [mm] - 63 (X); 63 (Y); 10 (Z) Recorrido [ - 26 (Θx); 28 (Θy); ilimitado (Θz) Máx. Fuerza normal [N] - 5 Max. Fuerza horizontal [N] - 2,5 Dimensiones [mm] - 142 x 142 x 94 Altura de la plataforma sobre el suelo [mm] - 94 Peso [g] - ~ 1850 Bucle cerrado Tipos de sensores - S Incremento más pequeño [nm] - 1 Incremento más pequeño [µrad] - 1 Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [nm] - < ± 200 Repetibilidad de bucle cerrado, recorrido de 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Repetibilidad de bucle cerrado, carrera completa MCS2 [µrad] - < ± 15 Opciones Opciones de vacío - HV (1E-6 mbar)