Sonda óptica SP series

de laboratoriode caracterización eléctrica

Gracias a su sistema de movimiento controlado de bucle cerrado, la SMARPROBE permite un posicionamiento con una repetibilidad y estabilidad inigualables, incluso a escala nanométrica. Esto elimina la deriva, la corrección manual y las conjeturas durante el palpado, haciendo que las mediciones complejas sean más rápidas, fiables y altamente automatizables. Eso es lo que significa bucle cerrado y lo que marca la diferencia. El SMARPROBE SP4 ofrece 4 manipuladores, mientras que el SP6 lo amplía a 6 y el SP8 admite hasta 8 manipuladores. Cada sistema incluye una platina de muestra. Todos los manipuladores presentan tres grados de libertad y están equipados con codificadores ópticos de resolución nanométrica para palpado eléctrico de alta precisión. Las rutinas de posicionamiento inteligente implementadas en el software de control específico, junto con la posibilidad de cargar hasta cuatro muestras SEM, maximizan la facilidad de uso y el rendimiento de cualquier tarea de nanoprocesamiento. Basado en los conocimientos técnicos de SmarAct en nanoposicionamiento piezoeléctrico, el robusto diseño mecánico garantiza la máxima estabilidad y un funcionamiento intuitivo. Todos los sistemas SMARPROBE son compatibles con una amplia gama de FIB, SEM y microscopios ópticos, lo que los convierte en una solución ideal tanto para la adaptación de flujos de trabajo existentes como para la integración en nuevos instrumentos. Los sistemas de sondeo SMARPROBE admiten técnicas de caracterización eléctrica que van desde EBIC/EBAC de 2 contactos hasta mediciones avanzadas de sondeo de 4 y 6 puntos, lo que los convierte en una herramienta indispensable para los laboratorios de análisis de fallos de semiconductores. Principales ventajas: Funcionamiento semiciego en el SEM. Gracias al mantenimiento activo de la posición, la baja deriva térmica y la funcionalidad Point&Click, el posicionamiento de la sonda puede realizarse con una exposición mínima al haz de electrones,