Platina de posicionamiento rotativa MR-30028

en lazo cerradoaluminiode accionamiento directo

La platina giratoria SMARSHIFT MR-30028 es un rotador de gran superficie con un diámetro de 300 mm y una gran apertura de 110 mm. Ofrece alta velocidad, alto par y larga vida útil con una precisión sin concesiones. Su tamaño compacto y perfil bajo simplifican la integración en los sistemas existentes y dejan espacio suficiente para su aplicación. Aplicaciones El rotador MR-30028 se ha diseñado específicamente como plataforma de rotación de obleas. Como plataforma para obleas de hasta 300 mm (12"), puede utilizarse para métodos de metrología (como reflectometría, espectroscopia de reflexión, elipsometría espectroscópica (VASE) y otros) o para fabricación (para unión de obleas, litografía EUV y otros). Otros ámbitos de aplicación son la alineación óptica de objetos pesados en la industria fotónica y la astronomía. Especificaciones Máx. Fuerza normal [N] - 1000 Dimensiones [mm] - ⌀ 300 × 28 Peso [g] - 5000 Apertura [mm] - 110 Material Material de la base - Aluminio, anodizado negro Bucle abierto Velocidad angular [°/s] - 540 - Bucle cerrado Tipos de sensores - S Resolución del sensor [µ - <1 Velocidad angular [°/s] - 540