Pulecantos EPD-X series

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El EPD es un sistema que mejora el borde de las obleas mediante el pulido de las mismas. El EPD elimina las sustancias extrañas y no deseadas del bisel del borde en los nodos críticos del proceso. SpeedFam es el pionero de los pulidores de bordes para la producción de obleas de primera calidad. Utilizamos este sistema con resultados sorprendentes en obleas de 300 mm, 200 mm y 150 mm. SpeedFam ha suministrado alrededor de 550 pulidores de bordes para obleas de primera calidad desde 1988. El pulidor de bordes SpeedFam es el estándar global en la preparación de bordes utilizado en las fábricas de obleas de primera calidad de todo el mundo. SpeedFam soporta la producción de obleas de 300mm, 200mm y 150mm. La SpeedFam EPD es una pulidora de bordes para mejorar los bordes de las obleas de 300mm, 200mm y 150mm. En comparación con el grabado u otro tipo de procesamiento de los bordes, como la simple limpieza, la EPD utiliza la acción de pulido de lodos para mejorar los bordes de las obleas de forma drástica. Está equipado con una unidad de limpieza posterior al pulido para lograr un procesamiento en seco.