Magnetrón rotativo SC-Series

de pulverización por bombardeo iónico

Nuestro bloque final de montaje interno más grande, el SC puede manejar objetivos de hasta 4000 mm y tiene una potencia nominal de hasta 200 kW DC o 80 kHz MFAC Los bloques finales de montaje interno de SCI tienen una alta fiabilidad y un diseño sencillo y de fácil mantenimiento. La configuración de un solo extremo reduce el número de sellos rotativos y estáticos, uno de los modos de falla más comunes en los cátodos rotativos. Nuestra exclusiva función de llenado y drenaje de agua permite mejorar el enfriamiento del objetivo y el drenaje completo del agua del objetivo en el momento del soplado. Este diseño elimina la posibilidad de corrosión galvánica en el interior del bloque final, que podría provocar fugas de agua y cortocircuitos. Los bloques de extremo SC de Sputtering Components pueden ser instalados en cualquier nueva máquina de recubrimiento o pueden reemplazar fácilmente otros bloques de extremo rotativo o sistemas planares. Características Tecnología patentada de suministro de energía Método único de fijación del objetivo Juntas rotativas duraderas y de larga duración Montaje estándar de la industria en la tapa Diseño de objetivo no patentado Relleno de agua y drenaje patentados La barra de imanes puede ser ajustada en cualquier ángulo Beneficios La mayor fiabilidad del mercado Fácil de instalar o actualizar de los bloques de cierre de la competencia El cambio de objetivo más rápido disponible 1 hora de mantenimiento anual; 3 horas de reconstrucción total del bloque final El más bajo costo de mantenimiento Utilizar los objetivos de cualquier proveedor Alta potencia sin impacto de calentamiento inductivo - sin polvo de cepillo No hay corrosión galvánica