Magnetrón rotativo CM

planode pulverización por bombardeo iónico

El CM es nuestro bloque final de montaje externo más compacto. Puede manejar objetivos de hasta 1000 mm y tiene una potencia nominal de hasta 20 kW DC o 80 kHz MFAC El bloque final de montaje externo CM combina un alto rendimiento y fiabilidad en un diseño muy compacto y ligero. Características Longitud del eje de transmisión personalizable Diseño compacto y flexible Cartucho de sellado de agua de fácil acceso Tecnología patentada de suministro de energía Llenado y drenaje de agua de destino patentado Diseño simple para menos piezas La barra magnética se ajusta externamente a cualquier ángulo Beneficios Mayor cobertura de sustrato que los bloques de extremo internos Se adapta a la mayoría de los diseños de cámara Todas las utilidades son externas y permanecen conectadas durante el cambio de destino Alta densidad de empaque; cátodos duales en un espacio de 220 mm (con un objetivo de identificación de 80 mm) Los motores de accionamiento pueden ser montados con montaje hacia arriba o hacia abajo y hacia adentro o hacia afuera Alta potencia sin impacto de calentamiento inductivo - sin polvo de cepillo Mantenimiento rápido y sencillo en la propia empresa Permite el co-sputtering, un acoplamiento de plasma más apretado y limita el recubrimiento de la pantalla