Platina de posicionamiento lineal MT130

eléctrica1 ejede rodillos cruzados

MT130 Etapa lineal compacta con motor interno La plataforma lineal en miniatura proporciona una excelente rectitud y planitud gracias a los rodamientos de rodillos. El accionamiento está completamente alojado en el sistema de posicionamiento altamente compacto. - Recorridos de hasta 80 mm en espacios de instalación reducidos (130 x 130 x 43 mm) - Repetibilidad de hasta 2,3 µm - Fácilmente apilable en sistemas multieje compactos Opciones: - Disponible con motor de CC o motor paso a paso - Unidad compacta de 3 ejes: MP130-3 - Combinable con la platina giratoria DT130 - Opción de acero inoxidable para mayor rigidez - Versión para sala blanca, vacío y EUV Campos de aplicación Posicionamiento en espacios reducidos, p. ej., cámara, microscopio (AFM, WLI), configuración de sistemas multieje XYZ de espacio mínimo, manipulador para la industria y la investigación, sistemas compactos de posicionamiento en sala blanca, inspección de obleas, alineación de próberes de obleas Datos técnicos: - Recorrido: 50 mm, 80 mm - Repetibilidad unidireccional: ± 2,3 µm - Repetibilidad bidireccional: ± 4,3 µm - Precisión: ± 8,1 µm, ± 9,7 µm - Velocidad de posicionamiento: 20 mm/s - Aceleración máx: 0.4 m/s2 - Carga máx. Carga Fx: 45 N - Carga máx. Carga Fy: 95 N - Carga máx. Carga Fz: 95 N