Sistema de posicionamiento XYZ 782498:001.26

linealautomáticopara la industria de los semiconductores

Pórtico de inspección XYZ para semiconductores | Motor lineal XY, carril de perfil | Husillo de bolas Z, servo AC - Inspección y Microscopía Inspección automática en 3D de alta precisión de semiconductores Este sistema de posicionamiento de 3 ejes mueve una cámara o sensor de alta resolución en el eje Z sobre el objetivo. Basado en el eje lineal LA250 con accionamiento directo lineal, este sistema alcanza altas velocidades y aceleraciones con gran precisión y muy buena reproducibilidad. Para el posicionamiento vertical, se utiliza la etapa lineal PLT165-AC de alta precisión con un potente servomotor de CA para accionar su husillo de bolas de precisión. Tiene una gran capacidad de carga útil, incluso para sensores pesados. Alto rendimiento en un funcionamiento de bajo mantenimiento las 24 horas del día - Ideal para la inspección automatizada de muestras grandes y planas, por ejemplo, obleas o tarjetas de sonda, mediante un puente de desplazamiento - Recorrido muy largo de 700 x 700 x 200 mm para cargas de hasta 15 kg - Medición de alta precisión con repetibilidad de hasta 0,3 µm - Máxima estabilidad para mediciones de gran aumento Opcionalmente ampliable: - Varios recorridos hasta 2000 mm - Control en Z manual o motorizado - Con/sin marco y placa base de granito o aluminio - Versiones ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición) - Opcional con controlador preconfigurado incl. software de ejemplo para uso inmediato