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Sistema de posicionamiento XYZ 782300:150.26.AB
linealverticalhorizontal

sistema de posicionamiento XYZ
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Características

Número de ejes
XYZ
Estructura
lineal, vertical, horizontal, de pórtico
Aplicaciones
para inspección de obleas y metrología, de haz óptico, para la industria de los semiconductores, para aplicaciones higiénicas, para sala blanca
Otras características
para losas de granito, de husillo de bolas, con motor lineal, sobre riel perfilado, con servomotor
Repetibilidad

1 µm

Descripción

El diseño del pórtico permite realizar movimientos muy dinámicos en una superficie de 1.000 x 800 mm (adaptada a la aplicación y al espacio disponible) con una repetibilidad de 0,3 µm, lo que garantiza un alto rendimiento con una calidad constante. En el nivel horizontal XY, los motores lineales integrados aseguran velocidades de proceso de 500 mm/s, mientras que en el eje vertical Z el servo AC alcanza valores de hasta 200 mm/s. El cabezal o sensor de procesamiento personalizado en el eje Z se desplaza rápida y suavemente sobre los soportes del granito. El desplazamiento es adecuado para cargas de hasta 10 kg, mientras que la altura puede variar hasta 500 mm en función de la aplicación y la altura del componente. Variedad de opciones de personalización individual - Base ideal para los sistemas de inspección en la fabricación de semiconductores u óptica - Recorridos muy amplios de 1300 x 800 mm - Alta dinámica para velocidades máximas de hasta 1000 mm/s - Los motores lineales integrados garantizan altas aceleraciones y velocidades con alta precisión simultánea - Accionamiento de alta precisión y larga duración en Z mediante un husillo de bolas de precisión rectificado - Fácil integración o conexión a sistemas de manipulación automatizados - Carcasa adicional con extracción integrada o carcasa para aplicaciones hasta la clase de sala limpia ISO 6 Ampliable opcionalmente: - Diseño de sistema apilable - Adaptación de recorridos, combinación de longitudes, cableado y control de movimiento - Combinación con etapas de elevación y/o etapas giratorias para la inspección de geometrías complejas - Interfaces personalizadas disponibles para fábricas de semiconductores semiautomatizadas o altamente automatizadas - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Uso inmediato con el controlador de movimiento preconfigurado, incluido el software de ejemplo

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