Generador de plasma para tratamiento de superficie TruPlasma MW 1000

alta frecuenciaautónomoPE-CVD

Generador de plasma resistente y de elevada potencia de estado sólido para las más altas densidades de plasma y los más altos estándares de proceso Los generadores de la serie TruPlasma MW se basan en la tecnología de estado sólido y consiguen una precisión de frecuencia significativamente mayor que los generadores de microondas basados en magnetrón. El innovador concepto de plataforma puede alcanzar las más altas densidades de plasma e incluso cumple con los estándares de proceso más exigentes de forma eficiente y económica. El diseño modular también permite escalar con precisión la potencia de salida. El suministro de energía se mantiene estable en todo momento sin que se vea afectada la calidad del proceso. En la producción de semiconductores, células solares y pantallas, la serie TruPlasma MW garantiza los mejores resultados y la mayor fiabilidad gracias a sus modernas funciones en el proceso. La innovadora pulsación en el rango de los nanosegundos permite un mejor control del proceso de plasma. En los sistemas multiantena, los distintos generadores pueden funcionar de forma sincronizada y pulsada. Mediante la variación de las referencias de fase entre los generadores individuales, se puede conseguir una homogeneidad del plasma a gran escala. Benefíciate de una modulación de frecuencia digital de gran precisión que garantiza resultados de proceso reproducibles, la máxima calidad de capa y elevada productividad. El ajuste automático de la frecuencia garantiza un resultado óptimo del proceso y una alta reproducibilidad. Confía en la función del generador: incluso en caso de desajuste, la calidad del proceso no se verá afectada.