Generador de plasma TruPlasma MW series

Los generadores de la serie TruPlasma MW se basan en la tecnología de estado sólido y consiguen una precisión de frecuencia significativamente mayor que los generadores de microondas basados en magnetrón. El innovador concepto de plataforma puede alcanzar las más altas densidades de plasma e incluso cumple con los estándares de proceso más exigentes de forma eficiente y económica. El diseño modular también permite escalar con precisión la potencia de salida. El suministro de energía se mantiene estable en todo momento sin que se vea afectada la calidad del proceso. En la producción de semiconductores, células solares y pantallas, la serie TruPlasma MW garantiza los mejores resultados y la mayor fiabilidad gracias a sus modernas funciones en el proceso. Creación de pulso rápida y precisa La innovadora pulsación en el rango de los nanosegundos permite un mejor control del proceso de plasma. Auto Frequency Tuning Smart El ajuste automático de la frecuencia garantiza un resultado óptimo del proceso y una alta reproducibilidad. Fases sincronizadas En los sistemas multiantena, los distintos generadores pueden funcionar de forma sincronizada y pulsada. Mediante la variación de las referencias de fase entre los generadores individuales, se puede conseguir una homogeneidad del plasma a gran escala. Diseño resistente Confía en la función del generador: incluso en caso de desajuste, la calidad del proceso no se verá afectada.