Los colectores de polvo TSM mantienen su planta libre de partículas de polvo y finos nacidas en el aire y evitan que el polvo dañe la bomba de vacío. Un colector de polvo de vacío central permite que la filtración de polvo se lleve a cabo a nivel de línea. Un recipiente colector hermético hace que la eliminación de los finos sea rápida y fácil. Se dispone de una limpieza automática del filtro, lo que alarga el tiempo entre los requisitos de servicio. Algunos modelos utilizan una válvula de alivio integrada para eliminar el polvo del filtro, mientras que otros incorporan un sistema de retroceso secuencial.
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