SPINCOATER Y DESARROLLADOR SEMIAUTOMÁTICO LCS
Características:
Interfaz de pantalla táctil fácil de usar
Hasta 5 líneas de dosificación
Brazo motorizado con altura de dispensación programable
Huella pequeña 600x625 mm
Cubierta transparente automática
Una amplia gama de tamaños de mandriles de revestimiento giratorio
Cambio rápido y fácil de pinzas
Tazón de proceso de limpieza fácil
El LCS está diseñado para el revestimiento de spin semiautomático y el desarrollo de obleas y sustratos planos y será la mejor opción para proyectos piloto, institutos e I+D. Garantiza una alta uniformidad y repetibilidad combinada con una operación y mantenimiento sencillos. Puede procesar obleas de hasta 150 mm o sustratos cuadrados de hasta 125x125 mm.
Para una mejor compatibilidad química con los productos químicos de dosificación, el recipiente puede estar hecho de POM, aluminio anodizado, polipropileno, acero inoxidable o PTFE.
El proceso de revestimiento de la espina dorsal se configura a través de una pantalla táctil fácil de usar. El usuario puede programar hasta 50 recetas con 20 pasos. Cada paso puede tener diferentes parámetros de velocidad, aceleración y tiempo.
Opciones:
Enjuague de la parte posterior (BSR)
Eliminación de las perlas de los bordes (EBR)
Sistema neumático de dispensación de jeringas
Sistema de dispensación de jeringas motorizadas
Sistema de dispensación de botellas presurizadas con indicador digital y control de presión
Varios platos de vacío o mecánicos
Herramienta de alineación de obleas
Tazón de aluminio anodizado, polipropileno o PTFE
Especificaciones:
El tamaño de la oblea hasta, mm -
150
El tamaño del sustrato hasta, mm -
125x125
Rango de velocidad, rpm -
0 - 10 000
Líneas de dosificación -
Hasta 5
Los programas almacenados -
virtualmente ilimitado
Voltaje de suministro..
230 VAC 50/60Hz 15A
Presión de suministro de CDA, bar -
4-5
Tubo conector CDA, mm -
8
Escape, m3 -
55-60
Conector de escape, mm -
50
Tubo conector de drenaje, mm -
12
Dimensiones generales, mm -
600x625x1300
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