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- VAT Vakuumventile AG
Válvula de compuerta 651 serieseléctricade aislamientode regulación de presión
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Características
- Tipo
- de compuerta
- Accionamiento
- eléctrica
- Función
- de aislamiento, de regulación de presión
- Cuerpo
- de aluminio, de aluminio anodizado
- Uso previsto
- para la industria de los semiconductores
- Otras características
- para entornos corrosivos, accionada por motor, por motor paso a paso
- DN
Mín.: 160 mm
(6,299 in)Máx.: 400 mm
(15,748 in)- Presión
Mín.: 4 bar
(58 psi)Máx.: 7 bar
(101,5 psi)- Temperatura
Mín.: 0 °C
(32 °F)Máx.: 120 °C
(248 °F)
Descripción
Optimizado para procesos de semiconductores corrosivos y FPD (por ejemplo, grabado) y para procesos de limpieza entre procesos de deposición. En el modo de control, la válvula funciona prácticamente sin partículas. El mantenimiento se puede realizar de forma fácil y rápida.
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