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Válvula de compuerta 031 series
neumáticacon cierrepara la industria de los semiconductores

Válvula de compuerta - 031 series - VAT Vakuumventile AG - neumática / con cierre / para la industria de los semiconductores
Válvula de compuerta - 031 series - VAT Vakuumventile AG - neumática / con cierre / para la industria de los semiconductores
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Características

Tipo
de compuerta
Accionamiento
neumática
Cuerpo
con cierre
Uso previsto
para la industria de los semiconductores
Material
de aluminio
Otras funciones
de transferencia
Otras características
de doble efecto
DN

Mín.: 32 mm
(1,26 in)

Máx.: 420 mm
(16,535 in)

Presión

Mín.: 3 bar
(43,5 psi)

Máx.: 7 bar
(101,5 psi)

Temperatura

Mín.: 0 °C
(32 °F)

Máx.: 40 °C
(104 °F)

Descripción

Para la cerradura de la carga y el aislamiento de proceso de la cámara en los sistemas de producción del semiconductor para las obleas de 200 y 300 milímetros. - Cerrado mecánicamente en la posición cerrada - choque bajo - las etiquetas de la presión diferenciada MIRAN A ESCONDIDAS en lugar de otro el SUS estándar (la opción)

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Traducción automática  (ver el original en inglés)

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