Fuente de iones DC

6cm x 30cm DC Fuente de iones Fuente lineal para sustratos grandes/anchos o lotes grandes de sustratos Las probadas fuentes de iones de CC con rejilla lineal de Veeco son ideales para plataformas de procesos de deposición de haces de iones altamente uniformes y fiables que utilizan sustratos individuales de gran tamaño o grandes lotes de sustratos. Son un excelente recurso para la fijación lineal o cilíndrica. Presenta el mismo diseño innovador, calidad y fiabilidad que las fuentes de haces de iones redondos de clase mundial de Veeco Proporciona plasma uniforme y alta densidad de corriente Soporta un amplio rango de energía de haz de 50 a 2000 eV con corrientes nominales de haz por fuente de hasta 500 mA Las opciones de alimentación permiten corrientes de haz de hasta 800 mA