Máquina de deposición MOCVD TurboDisc® MaxBright® MHP™

de película fina

El sistema del Multi-Reactor del MOCVD de TurboDisc® MaxBright® MHP? GaN representa el sistema modular más último del alto rendimiento diseñado especialmente para producir la producción excelente de mejora de la uniformidad de la longitud de onda de la dentro-oblea del hasta 20% sobre el MaxBright de la huella, de la utilidad, de ventajas y de la configuración similares de la disposición. Los adelantos del hardware del multi-reactor ofrecen uniformidad mejorada de la longitud de onda a través de todas las obleas para alcanzar producciones más altas. MaxBright MHP también ofrece una propiedad más baja costada sobre el MaxBright. El sistema combina los reactores altos múltiples del MOCVD del rendimiento de procesamiento en un modular 2 - o arquitectura del racimo de 4 reactores para leverage la tecnología de FlowFlange® de Veeco y la maestría uniformes producción-probadas de la automatización. De acuerdo con el diseño alto-acertado de K465i de Veeco, el sistema incluye los reactores mejorados que asegura capacidad ampliada de la oblea y avanzado, propietario, tecnología termal a circuito cerrado del control.