Horno de oxidación

de cámaraen atmósfera controladapara la industria electrónica

Hornos Nuestros hornos están completamente automatizados con herramientas cómodas y diseñados para ambos procesos con diferentes zonas de calentamiento controlables completamente de acuerdo con las capacidades y necesidades de los clientes. Nuestros equipos son para estos tipos de obleas con los diámetros de 100, 150, 200, 300 mm. HORNOS ATMOSFÉRICOS Vegatec diseña y fabrica hornos atmosféricos con todo su sistema de automatización para el laboratorio y la industria de la microelectrónica, la nanoelectrónica y la fotovoltaica. Estos hornos son los siguientes; Hornos de Oxidación (Oxidación húmeda y Oxidación seca) Hornos de difusión Hornos de Dopaje Hornos de recocido Características generales de los hornos atmosféricos Fácil de usar y fácil de mantener gracias a su diseño de fácil manejo Cámara del horno y portamuestras tipo voladizo de cuarzo de alta pureza Capaz de trabajar en salas limpias de hasta clase 10 Larga vida útil gracias a los componentes de alta calidad Zonas de calefacción controlables por separado Fácil uso de la interfaz de automatización Tubos de horno apilables para un diseño compacto de diferentes procesos al mismo tiempo Capacidad de carga manual o automática Capacidad según cada cliente A escala de laboratorio o industrial