Las bombas de la serie DP-FsE se caben con los sellos duros avanzados y el tipo óptico sistema de la lógica neumática del anExternal de control del sensor y diafragma del pedazo PTFE del aOne como estándar. Su construcción libre del metal, alta tolerancia a los cambios de temperatura grandes y sensor reliabilityoptic alto mecanografían el sistema de control, hacen éstos un forUltra bien escogido excelente pureza elevada proceso químico y los usos de la mezcla del CMP. Junto con el conductor de la bomba CE-124, esta bomba tiene la parada del unparalleledstart de control de operaciones, la confiabilidad y vida extendida de las piezas
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