El ORION NanoFab es un microscopio de iones multihaz 3 en 1, diseñado para la fabricación de nanoestructuras por debajo de los 10 nm utilizando el motor de NanoPatrón y Visualización, y otras aplicaciones. Cuenta con tres tipos de haces que los usuarios pueden cambiar sin problemas, a saber, galio, helio y neón.
La FIB de galio es adecuada para la extracción de material de masa en una muestra de sustancia. El haz de helio, por otro lado, es ideal para la fabricación de estructuras de menos de 10 nm. El haz de neón permite a los usuarios formar nanoestructuras a velocidades altamente eficientes y con un alto rendimiento.
El NanoFab tiene una alta resolución de imagen de 0.5 nm, permitiendo imágenes de alta resolución de muestras usando el mismo instrumento.
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