Interferómetro láser ZMI™ Series
ópticode alta resoluciónpara aplicaciones de litografía

interferómetro láser
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Características

Especificaciones
láser, óptico, de alta resolución, para aplicaciones de litografía, diferencial

Descripción

Interferómetros de la serie Differential ZMI™ Series - Interferómetros de medición de desplazamiento Interferómetro de referencia de columna (CRI) Los interferómetros diferenciales miden el desplazamiento relativo entre dos espejos objetivo. Estos interferómetros admiten haces de entrada de hasta 6 mm de diámetro.

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